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質問スレッド＠化学板136
- 973 ：あるケミストさん：2021/06/12(土) 09:01:10.61 .net
- metal oxideのThermal ALEのプロセスフローで、最初に最表面のF化が行われますけど、F化ってなんのために必要なんですか？
F化した方がその後のLigand exchangeが起きやすくなつぁら？
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